精彩回顾| 半导体器件加工工艺与技术研讨会圆满举办！
2021年10月27-29日
第九届半导体器件加工工艺与技术研讨会
作为纳博会分论坛之一
在苏州国际博览中心成功举办
本次研讨会由中科院人事局和江苏省纳米技术产业创新中心主办，中科院苏州纳米所、苏州纳米科技发展有限公司承办。邀请到13位高校研究所及其企业著名纳米技术人才专家传授相关专业知识，特别针对化合物半导体电力电子器件和氮化铝MEMS器件的加工、测试、分析技术进行深入浅出的理论培训和技术研讨。全国160余名学员前来参会，参与人员职业广泛，包含了科研院所的研发人员、学校的老师和学生、公司的研发经理和技术骨干。
”
中科院苏州纳米所加工平台副主任曾中明研究员，吴东珉研究员和林文魁高级工程师主持研讨会。曾中明表示，随着5G时代的到来，产业界对高频、高温、高功率、高能效、耐恶劣环境及小型化功率半导体器件需求急剧增加。同时，随着基站通道数倍数增加和通信无线电波频率提升，MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）是相关产品的关键技术之一。
”
研讨会精心组织筹备，13位半导体技术领域的专家为大家讲授相应领域的现状和前沿进展，具体从新型宽禁带半导体电子器件研究进展（张进成），超宽禁带氧化镓半导体功率电子器件（龙世兵），半导体超级激光退火物理（骆军委）、面向新一代高频/高压开关电源的半导体器件关键问题（王金延），激光图形化诱导纳米结构阵列外延/光刻同步解决方案（彭长四），半导体碳化硅单晶制备和晶圆加工（皮孝东），5G化合物半导体器件芯片封装关键技术（周利民），边发射激光芯片关键技术及应用发展趋势（胡翀），高效、绿色 AlN 单晶薄膜制备技术的研究（朱建军/陈贵峰），氮化铝压电微机械超声换能器（PMUT）设计与应用（谢金），无线通信MEMS滤波器发展与趋势（孙博文）和用于测距的压电微机械超声波换能器（李加东）进行了详尽的介绍和分析。
在实验室参观和讨论环节，苏州纳米所纳米加工平台工程师与参会人员讨论半导体技术的行业发展和趋势，介绍纳米所加工平台设备与技术支撑能力。据悉，2006年，江苏省、苏州市和苏州工业园区与中国科学院合作共建了中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，设立了纳米加工平台，为纳米技术产业提供基础技术和器件制备测试支撑，开启了苏州工业园区率先在中国把纳米技术应用产业确立为区域战略性产业之路。
研讨会为期三天
为纳米技术人才特别是半导体技术人才
提供了交流和学习的重要平台
同时也是纳米技术产业人才
提升自我、开拓视野的盛会
必将大力推动园区纳米技术产业的发展
第十三届纳博会已经开启
2022年10月26-28日
苏州国际博览中心
期待您的到来
2022纳博会详情垂询组委会
会议组：蒋女士 18866025960
展览组：陆先生 15050142680
宣传组：蒋女士 15250038690
中半协MEMS分会：张先生 15062459468